11月22日|據中科飛測消息,近日,中科飛測首台晶圓平坦度測量設備——GINKGOIFM-P300出貨HBM客户端。GINKGOIFM-P300的成功推出,標誌着我國在該領域實現了重大突破,打破了國外廠商的長期壟斷,突破國內設備對超高翹曲晶圓、低反射率晶圓的量測限制,同時支持鍵合後晶圓、化合物半導體襯底(SiC/GaAs)的全參數檢測。